晶圆半导体检查显微镜MX系列各项操作根据人机工程学设计，减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能，可根据实际应用，进行功能选择。
宽视场铰链式三目观察筒
正像铰链三目观察筒，所成像的方位与物体实际方向相同，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于观察与操作.
大行程移动平台设计
采用6寸平平台设计，行程158×158mm，可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。
高精度物镜转换器
转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制。
稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。
半导体检查显微镜MX6R标准配置参数
型号 | MX6R（反射） | MX6RT（透反射） |
可选择的观察方法 | 明场/明暗场/偏振光/DIC | |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | |
目镜 | PL10X/22平场高眼点目镜 | |
观察筒 | 正像观察筒，25°铰链式三目，分光比，双目：三目=100：0或0:100 | |
物镜 | LMPlan无限远长工作距明场金相物镜5X、10X、20X、50X（选配：2X、100X） | |
LMPlan-BD无限远长工作距明暗场金相物镜5X、10X、20X、50X（选配：2X、100X） | ||
转换器 | 5孔内倾式转换器，带DIC插槽 | |
载物台 | 6”三层机械移动平台，行程158x 158mm，右手位X、Y移动手轮，配离合器手柄，可快速移动 | |
/ | 透射行程：100x100mm | |
玻璃工作平台 | ||
显微镜镜体 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器， | |
单路电源输出 | 双路电源输出 | |
反射照明器系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心；带滤色片插槽与偏光装置插槽；带明暗场切换机构，预置中心 | |
采用数字调光，具有光强设定与复位功能 | 光强连续可调 | |
透射照明系统 | / | 单颗大功率5W LED，白色，光强连续可调。N..A.0.5聚光镜，带可变孔径光阑 |
