半导体检查显微镜MX4R采用大行程移动工作平台，长工作距半复消色差物镜，图像锐利清晰，广泛应用于晶圆、FPD等各项工业检测。
稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。
反射照明器
单颗大功率5W白色LED照明，带斜照明机构。切换至斜照明时，可以使物体表面不同材质部分呈现立体图案，增加观察的对比度与视觉效果。
高性能物镜转换器
MX4R转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制，根据需求可配置不同孔位的转换器。
半导体检查显微镜MX4R标准配置参数
型号 | MX4R | MX4RT |
可选择的观察方法 | 明场/斜照明/偏振光/DIC | 明场/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | |
目镜 | PL10X/22平场高眼点目镜 | |
观察筒 | 30°铰链式三目，分光比，双目：三目=100：0或50:50 | |
物镜 | LMPL无限远长工作距金相物镜5X、10X、20X、50X、100X | |
转换器 | 5孔内倾式转换器，带DIC插槽 | |
载物台 | 4”双层机械移动平台，行程105x 105mm，带金属平板平台，右手位X、Y移动手轮，配平台接口 | 4”双层机械移动平台，行程105x 105mm，带玻璃平台，右手位X、Y移动手轮，配平台接口 |
显微镜镜体 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，单路电源输出 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，双路电源输出 |
反射照明器系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心；带滤色片插槽与偏光装置插槽；带斜照明切换拉杆。12V100W卤素灯，光强连续可调（选择此组照明器时，应使用MX-6R型显微镜镜体） | |
透射照明系统 | / | 单颗大功率5W LED，白色，光强连续可调。N..A.0.5聚光镜，带可变孔径光阑 |
