精密测量显微镜MS系列，为实现强大的测量功能而研制，拥有值得信赖的品质和技术
精密测量显微镜MS系列结合了金相显微镜的高倍观察能力和影像测量仪的X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能，具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。
●仰角可调观察筒
观察筒角度可在3-35度范围内任意调整。无论是站立或坐着，都能较大限度满足用户的操作需求，同时也无需担忧用户的身高差异。
●大行程载物台
有多种行程的载物台可供选择:
MS210A平台行程200 (X) mm x 100 (Y) mm,
MS320A平台行程300 (X) mm x 200 (Y) mm,
MS330A平台行程300 (X) mm x 300 (Y) mm,
MS430A平台行程400 (X) mm x 300 (Y) mm,
不管是大样品还是小样品，都能满足用户的测量需求。若用户有别的需求，也可按需求定制平台。
●精密测量工具
MS系列测量显微镜采用0.1μm读数的3轴测量系统，Z轴zui大行程可至170mm，利用集成在机架上的高精度电动控制Z轴。三档不同调速可供选择，调焦可操作性强，提供效率，降低疲劳。
●独立裂像光源辅助对焦
可根据样品不同背景进行光源亮度调节，清晰准确显示zui佳焦面。有两种裂像图案可供选择，并随意切换。
●功能高度集成的一体式设计
一体式工作桌，既预留了台式主机的位置，又带有可收起的键盘抽屉，整体外观整洁、舒服。各类可操作部位触手可及，操作轻松方便。符合人体工程学，使用者无需站立，便可轻松实行操作。
●自主研发测量软件
MS系列测量显微镜配备了操作简单，功能强大的测量软件，客户可根据需要设置测试偏好。软件附带了各类手动取点与自动取点的测量功能，适用范围更广，即使对复杂的形状，也可以进行高精度的测量。
●精密测量显微镜MS系列应用领域
精密测量显微镜MS系列配置参数
型号 | MS210A | MS320A | MS330A | MS430A |
光学系统 | 无限远光学系统 | |||
观察头 | 5°~35°倾角可调，正像，无限远铰链三目观察筒，瞳距调节范围：50mm~76mm；两档式分光比：100:0,0:100 | |||
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,可视度可调，可带测微尺 | |||
转换器 | 六孔电动转换器(带DIC插槽),明暗场六孔电动转换器(带DIC插槽) | |||
物镜 | 无限远长工作距平场消色差金相物镜5X、10X、 20X、 50X、 100x | |||
无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜5X、10X、 20X | ||||
无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X、100X | ||||
放大倍率 | 光学放大倍率: 50X-1000X；系统放大倍率：135X~2700X | |||
测量显微镜主体 | 手动测量平台，行程200(X) mm x 100 (Y)mm, X/Y测量精度;(2+L/100) um,平台包含快速移动装置及微调装置，最大承载重量:10KG，带z轴电动调焦，电动控制器, Z轴行程150mm, 最大行程170mm，Z轴重复定位精度±2um; | 手动测量平台，行程300(X) mm x200 (Y)mm,XY测量精度;(3+L/100) um,平台包含快速移动装置及微调装置，最大承载重量:15KG，带z轴电动调焦，电动控制器, Z轴行程150mm,最大行程160mm， Z轴重复定位精度±2um; | 手动测量平台，行程300(X) mm x300 (Y)mm,XY测量精度;(3+L/100) um,平台包含快速移动装置及微调装置，最大承载重量:20KG，带z轴电动调焦，电动控制器, Z轴行程150mm, Z轴重复定位精度±2um; | 手动测量平台，行程400(X) mm x300 (Y)mm,XY测量精度;(3+L/100) um,平台包含快速移动装置及微调装置，最大承载重量:20KG，带z轴电动调焦，电动控制器, Z轴行程150mm, Z轴重复定位精度±2um; |
照明系统 | 明暗场反射照明器，带明、暗场照明器切换装置，普滤色片插槽与偏光装置插槽，带5W LED灯源，亮度均可调 | |||
辅助对焦模块，带明、暗光楔模切换装置，带绿光5W LED灯源(含100V-240V宽电压, 5W LED控制器， | ||||
调焦方式 | 电动控制器，带自动/手动乙轴调焦，独立控制上/下/辅助对焦三种光源，支持亮度可调，包含x/y/z单独清零及一健清零，电动控制转换器，配置乙轴运动急停按键 | |||
相机 | 德国进口的映美精相机，靶面尺寸: 1/1.8 inch ;分辨率: 1600x 1200（1.9MP）, 帧速率: 20fps, 300万像素 | |||
摄影摄像接口 | 0.5X/0.65X CTV，采用C型接口，可调焦 | |||
PC | 联想电脑扬天M4000g(15-10400 8G IT)21.5英寸 | |||
软件 | 舜宇MS精密测量软件，实时显示数显表三坐标数据，配置图像测量模块， 支持自动寻边，倍事自动识别等功能， 定制化终端数据上传功能 | |||
其他附件 | 起偏境插板，360旋转式检偏镜插板；反射用干涉滤色片组；高精度测微尺；DIC组件；标定片 | |||
