有助于较大程度降低操作人员水平差距的分析功能

1、简单分析。简单分析功能可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度和体积。自动检测测量结果变动的原因（如体积分析中参考平面的边缘位置和阈值）让测量结果保持稳定，不受操作员技能水平的影响。

测量两个指定区域之间的台阶高差和距离

通过自动检测指定区域的边缘测量宽度

测量指定区域的表面粗糙度

测量指定区域的体积

测量两个指定区域之间的角度差

基于指定区域中的圆形自动识别测量半径 R 和距离基准平面的高度

2、自动校正。某些激光显微镜需要对所获取的数据进行诸如 噪声消除和倾斜校正等预处理，因此拖慢了扫描时间，并增加了对操作者技能水平的依赖性。 选用3D测量激光显微镜OLS5000，轻松点击一下即可执行保留准确数据情况下的测量噪音自动消除（智能判别）处理，以及自动检测高度零位（智能调平） 主水平面（参考平面）的处理。无需复杂的设置， 因此操作人员的技能和经验水平对结果影响非常小。

3、轮廓测量。轮廓测量功能通过在图像上的待测量位置任意 绘制测量线的方式显示表面轮廓。其还可测量任意两点之间的距离、宽度、横截面积和半径R。与接触式测量工具不同的是，设定测量位置非常简单。 测量线和点可在图像上标记，因此即便极小的区域也能够进行准确测量。

4、轮廓辅助工具。可通过指定特定部位区域的最大/最小值点、两条线的交点、圆柱体中心或球体中心确定所需的测量线。在所获取的数据中指定一个位置时，可根据指定条件自动提取特征点，从而减少与操作员相关的测量变动。

5、测量辅助工具。需要测量的点可使用最高值点、最低值点、中间值点、和/或平均值点进行准确指定。在所获取的数据中指定一个位置时，可根据指定条件自动提取特征点。

综合分析及报告功能

1、线粗糙度测量，ISO4287 合规。接触式表面粗糙度仪由于难以将触针放在极小的位置上，因此无法准确测量管或线上的目标位置。3D测量激光显微镜OLS5000可让操作员从表面获取数据之后再确定测量线，由此轻松完成细小目标的线粗糙度测量。

2、面粗糙度测量，ISO25178 合规。3D测量激光显微镜OLS5000使用直径0.4μm的激光束扫描样品表面，这让其能够轻松测量接触式表面粗糙度仪无法测量的样品表面粗糙度。 这种同时获取接触式表面粗糙度仪无法测量表面彩色图像、激光图像和3D形状数据的能力实现了分析范围的扩展。

3、平面内测量。可在图像上进行各种测量- 其中包括两点之间的距离、 两条线形成的角度以及指定位置的面积。另外还提供自动边缘检测功能，无论操作人员技术如何都可以实现准确的位置设定。

4、台阶高度测量。在所采集的数据中指定作为比较目标使用的高度参考部位和测量部位可让您能够量化参考部位和测量部位之间的最大值、最小值和平均 台阶差值。指定部位可保存供以后加载使用，这让该功能非常适合重复性测量。

5、差值测量。包括准许/不准许判别、磨损前后的形状（高度）差异、表面积和体积在内的差异均可通过目测确定并进行量化。仅需简单的点击操作即可自动完成水平方向数据（XYZθ）和角度调整数据之间的定位校准，从而为表面形状差异的有效分析提供辅 助。

6、面积/体积测量。具有不规则表面形貌的部位的面积和体积可通过在采集图像内设置参考高度平面进行测量。也可根据样品形状自动检测参考平面。当发现具有表面不规则性的多个部位时，各部位的体 积、面积、表面积以及距离参考平面高度均可进行测量。

7、直方图分析。直方图代表所获取的高度数据或颜色或激光强度的分布，可用于台阶和面积测量。另外也可提供模式、半值宽度和3σ、以及自动直方图峰值检测等诸多统计量的输出。 比如微透镜阵列等样品具有周期重复形状时，其半径、残余误 差和表面角度均可进行测量。通过将特征部分指定为感兴趣的部位，可自动提取所获取数据中的所有相同特征部分并输出测 量结果。

8、球体/圆柱体/表面角度分析。如微透镜阵列等样品具有周期重复形状时，其半径、残余误差和表面角度均可进行测量。通过将特征部分指定为感兴趣的部位，可自动提取所获取数据中的所有相同特征部分并输出测量结果。

9、自动边缘测量。半导体芯片上规则图案的宽度和高度可根据规定的检测条件进行测量。根据样品特征，可对彩色图像、激光图像和3D形状数据应用各种设置。该功能对于重复进行的样品测量非常有 用。

10、颗粒物分析。可在所获取数据中自动检测颗粒物。可测量直径、重心、卡尺直径以及每个颗粒的圆度。结果以直方图形式输出。

11、薄膜厚度测量 。可以测量透明体的薄膜厚度和界面高度。多层模式有助于分析透明薄膜的3D延伸、结构和位置关系。断层模式可将光检测强度转换为图像，该模式在分析具有极低反射强度界面时特别有用。

12、多文件分析。多个所获取的数据项目可在显示标尺和3D显示角度的情况下

并排显示。图像校正和分析可同时进行。该功能可用于对不同处理条件的多个样品进行分析，也可用于缺陷分析。

13、奥林巴斯Stream®软件。奥林巴斯Stream工业图像分析软件（选配）适用于高度专业化的应用。使用3D测量激光显微镜OLS5000获取的数据可通过奥林巴斯Stream软件轻松进行显示和分析。

14、报告输出。分析结果报告可自定义为用户偏好的输出格式。 除可编辑的LEXT专有格式外，数据也可导出为Excel®、PDF或RTF格式。

15、图像处理历史。可显示所获取数据的图像处理历史，从而实现多次撤消和重做操作。在确认图像处理流程用于其它数据时，或者确认处理流程适合其他所采集数据时，该功能非常方便

16、CAD数据输出。所获取的数据能够以STL格式（网格数据）输出并可加载到 CAD应用程序中。利用市场上可购买的CAD查看软件能够辅助实现设计数据与STL数据之间差异的可视化和量化。

自动化功能

1、分析模板功能。报告中包含的所有操作和过程均可保存为模板。在重复进行相同测量时，使用此模板可对下一组数据采用同一流程进行分析和出报告。无需操作人员干预即可指定流程操作和测量点的功能，以最小差异进行快速、精确的分析。

2、自动定位校准。所采集数据的自动 XYZθ 调整可通过预注册参考样品的特征部位实现。该功能在使用分析模板重复检查相同样品时非常有用。

3、定位对齐功能。在连续检测具有相似形状的样品时，定位对齐功能可将电动载物台的坐标系设定与样品匹配，从而实现更高效率的检测。 该功能可让您只需将样品放在载物台上即可获得所有后续样品相同位置的相同数据。

4、多区域数据采集。通过利用宏编译工具创建和编辑宏，可实现从数据采集到测量及报告等常规检测流程的自动执行。之后，操作员所需做的仅为调用和执行现有的宏文件，从而通过一次点击即可获得稳定的测量结果。

5、宏功能。从数据采集、测量到报告创建的检测工作流程均可实现自动化。可利用宏生成工具轻松创建或编辑检测流程。操作人员通过运行已经注册的宏文件，仅需简单的点击即可获得可靠的测量结果。

6、支持五种语言的应用。应用程序支持中文、英文、日文、德文和韩文五种语言。多语言的使用手册可让本地操作人员也可轻松使用该系统。

7、用户帐户功能。每位操作员均可使用自己的帐户登录到应用程序，并使用经过自定义的操作环境。用户ID将记录在报告以及所采集的数据中，由此可轻松识别该数据是由何人以及何时创建或获取的。管理员还可根据需要为每位操作员分配相应操作权限范围及功能。

可检测多种样品

1、扩展架。载物台上可放置最大高度210毫米的样品。重复性和准确性等测量性能均确保与标准机台相同。

2、多种物镜均可兼容。有十五种物镜可供选择，包括针对405纳米波长设计的多个LEXT专用物镜，从而让客户能够选出满足需求和应用的一款。透镜也可在客户地点进行切换。

3、专用LEXT®低倍率及长工作距离物镜。我们的专用LEXT物镜系列近期新增了提升测量性能的长工作距离物镜和普通工作距离的10倍物镜。所有专用LEXT物镜的测量0性能均可获得保证。