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3D测量激光显微镜

产品型号：OLS5000
发布时间：2020-12-16 15:34:47
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3D超景深显微镜-3D测量激光显微镜介绍

3D测量激光显微镜OLS5000,快速获得可靠数据。

●亚微米3D观察、测量。观察纳米范围的台阶，并可测量亚微米级别的高度差。

●ISO25178-合规表面粗糙度测量。可测测量从线到面的表面粗糙度。

●非接触，无损，并且快捷。无需制备样品，您只需将样品放在载物台上即可测量。

OLS5000激光扫描显微镜的基本原理

●3D测量激光显微镜OLS5000配置了两套光学系统（彩色成像光学系统和济钢共焦光学系统，如下图）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

a、获取彩色信息是指彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。

b、获取3D高度信息和高分辨率共焦图像。即激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

●405纳米激光光源

光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光（峰值550纳米）的传统显微镜具有更优的横向分辨率。3D测量激光显微镜OLS5000利用405纳米短波长激光二极管获得横向分辨率。

●激光共焦光学系统

激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线，并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊，让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像。

●X-Y扫描仪

3D测量激光显微镜OLS5000配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合，能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置，因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的X-Y扫描。

●高度测量原理

在测量高度时，显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。

根据非连续的焦点位置（Z）和检测光强度（I）可以估算每个像素的光强变化曲线（I-Z曲线），并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应，因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似，通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像（扩展图像）。

选择3D测量激光显微镜OLS5000的价值

●显微镜OLS5000的先进技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量，捕捉任意表面形状，

输出可靠数据。

3D测量激光显微镜OLS5000采用专用LEXT物镜，达到一致的测量值。

3D测量激光显微镜OLS5000采用4K扫描技术，能捕捉陡峭斜面形状。

3D测量激光显微镜OLS5000具有智能判别功能，可自动获取可靠数据。

●3D测量激光显微镜OLS5000的扫描算法可快速获得可靠数据。即可提高数据质量又可提高速度，从而缩短您的扫描时间，简化您的工作流程，以提高生产力。

3D测量激光显微镜OLS5000采用PEAK算法，能快速、准确的测量。

3D测量激光显微镜OLS5000采用跳跃式扫描，简化测量，提升下来。

●3D测量激光显微镜OLS5000具有自动数据采集功能，因而无需进行复杂的设置调整。甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果，即只需放置样品并按一下按钮即可。

3D测量激光显微镜OLS5000采用智能扫描II技术，具体操作如下;

步骤1：放置样品，点击“Start”，扫描完成。

步骤2：先选择测量项目，然后指定测量区域，点击报告按钮，分析和报告即可完成。

步骤3：创建报告。即通过分析模板，减少重复测量的差异。

●低功率输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备（可测量具有挑战性的样品）。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品(如下图1)，而专用LEXT超长工作距离物镜能够测量深度大25毫米的凹坑(如下图2)。在测量这两类样品时，您只需将样品放在载物台上即可。

图1

图2

3D 测量激光显微镜OLS5000系列配置

3D 测量激光显微镜OLS5000-SAF

• 100毫米电动载物台

• 最大样品高度:100毫米

3D 测量激光显微镜OLS5000-EAF

• 100毫米电动载物台

• 最大样品高度:210毫米

3D 测量激光显微镜OLS5000-SMF

• 100毫米手动载物台

• 最大样品高度:30毫米

3D 测量激光显微镜OLS5000-EMF

• 100毫米手动载物台

• 最大样品高度:140毫米

3D 测量激光显微镜OLS5000-L AF

• 3 0 0 毫米电动载物台

• 最大样品高度：37毫米

3D 测量激光显微镜OLS5000系列技术规格

主机规格

型号		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
总倍率		54x - 17,280x
视场直径		16 μm - 5,120 μm
测量原理	光学系统	反射式共焦激光扫描激光显微镜反射式共焦激光扫描激光 -DIC 显微镜彩色彩色 DIC
	光接收元件	激光：光电倍增管（2ch）色彩：CMOS 彩色相机
高度测量	显示分辨率	0.5 纳米
	动态范围	16 位
	可重复性 n-1 1 2 *6	20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
	精度 1 3 *6	测量值 +/- 1.5%
	拼接图像精度 1 4 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
	测量噪声（SQ 噪声）1 5 *6	1 纳米
宽度测量	显示分辨率	1 纳米
	可重复性 3 n-1 1 6	20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
	精度 1 3 *6	测量值 +/- 1.5%
	拼接图像精度 1 3 *6	20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])
单次测量时测量点的最大数量		4096 x 4096 像素
测量点的最大数量		3600 万像素
XY 载物台配置	长度测量模块	•	无	无	•	无
	工作范围	100 x 100 mm 电动	100 x 100 mm 手动	300 x 300 mm 电动	100 x 100 mm 电动	100 x 100 mm 手动
最大样品高度		100 mm	30 mm	37 mm	210 mm	140 mm
激光光源	波长	405 nm
	最大输出	0.95 mW
	激光分类	2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源		白光 LED
电气功率		240 W	240 W	278 W	240 W	240 W
质量	显微镜主体	约 31 公斤	约 30 公斤	约 50 公斤	约 43 公斤	约 39 公斤
	控制箱	约 12 公斤

物镜规格

系列	型号	数值孔径（NA）	工作距离(WD) (毫米）
UIS2 物镜	MPLFLN2.5x	0.08	10.7
UIS2 物镜	MPLFLN5x	0.15	20
LEXT 专用物镜（10X）	MPLFLN10xLEXT	0.3	10.4
LEXT 专用物镜（高性能型）	MPLAPON20xLEXT	0.6	1
	MPLAPON50xLEXT	0.95	0.35
	MPLAPON100xLEXT	0.95	0.35
LEXT 专用物镜（长工作距离型）	LMPLFLN20xLEXT	0.45	6.5
	LMPLFLN50xLEXT	0.6	5
	LMPLFLN100xLEXT	0.8	3.4
超长工作距离物镜	SLMPLN20x	0.25	25
	SLMPLN50x	0.35	18
	SLMPLN100x	0.6	7.6
适用于 LCD 样品的长工作距离物镜	LCPLFLN20xLCD	0.45	7.4-8.3
	LCPLFLN50xLCD	0.7	3.0-2.2
	LCPLFLN100xLCD	0.85	1.0-0.9